○2月17日 菜の花開花 先端加工実験室南側花壇
落ち葉の清掃業者が花壇は踏み荒らされましたが、耐えて力強く花を咲かせてくれました。
○2024年1月23日 研究室紹介2024が完成しました。（画面クリックで拡大できます）
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○12月27日 アイオン（株）−埼玉大学生産環境科学研究室忘年会
研究打ち合わせ後には、大宮で楽しい忘年会となりました。
○12月20日 研究室忘年会 北浦和 エビスにて
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Doi brothers, love racing |
○12月13日〜15日 SEMICON JAPAN 2023 東京ビッグサイト
※SEMICON Japanとは・・・半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT機器などのSMART
アプリケーションまでをカバーするエレクトロニクス製造サプライチェーンの国際展示会です。
７ホールのACADEMIAでポスター展示をしました。（ブースNo.7711）
・ダイヤモンド（100）面のレーザスライシング、・SiCなどのレーザスライシング、
・SiCの砥粒レス高速鏡面研磨、 ・アルカ雰囲気のSiC鏡面研磨、
・研究室のテーマ一覧（コピー用）
来場者延べ人数 （ ）は昨年の人数 12月13日(水) 27,850 (16,103) 12月14日(木) 29,770 (17,821)
12月15日(金) 27,662 (17,556) 総計：85,282人 (51,480人)
初日ブース設営完成 |
二日目のブース |
三日目のブース |
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会場の様子 |
○11月23日 製炭師 木戸口武夫氏に研磨炭の製法について教えて頂きました。
（福井県大飯郡おおい町 名田庄総合木炭） 参考文献1 参考文献2
研磨炭の窯を説明する木戸口氏 |
日本油桐乾燥工程の見学 |
質問する笹沼君 |
木戸口氏を囲んで（左は松澤名工） |
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○2023年10月21日 先端加工実験室敷地内に研究用花壇を作りました。
今後も敷地を有効利用するとともに、研究環境の整備に努めます。
○2023年10月18日 先端加工実験室に研磨装置（不二越機械工業社製）が搬入されました。
大事に扱って参ります。半導体研磨の世界に革命が起きるのを楽しみにしています。
○2023年9月13日〜15日 精密工学会秋季大会が福岡工業大学で開催されました。
松坂君が発表しました。とても説得力のあるプレゼンでした。
14日 レーザ加工セッション
・単結晶ダイヤモンド{100}のレーザスライシング（第2報）?劈開を制御した
高精度スライシング?
松坂勇亮・山田洋平・池野順一（埼玉大） ・鈴木秀樹（信越ポリマー） ・
野口 仁（信越化学工業）
15日 生産原論セッション
・時間的トランスファー・エンジニアリングの試み?青銅鏡の磨きに学ぶ?
池野順一・長井克成・笹沼彩冬・山田洋平（埼玉大）
※学会のついでに太宰府の天満宮と九州国立博物館を見学しました。ちなみに天満宮の拝殿に祀られていたのは青銅鏡ではなく、ガラス鏡でした！？。
○2023年8月28日〜30日 砥粒加工学会 ABTEC2023 in 米子（鳥取県）
光・ビームによる加工技術セッション（2）（8/28、12:00〜12:20）
・山田洋平、足立志遠、池野順一 「GaNの液中UVレーザエッチング」
JR境港線の米子駅は、愛称「ねずみ男駅」 |
米子城跡からみる景色はお城ファンに人気
登口を間違えて迷子に・・・米子？ |
JR米子駅前のコンベンションセンター 「Big Ship」にて開催 |
○2023年8月8日 工学部オープンキャンパス
レーザマーキングを実演しました。
○2023年夏 研究室BBQ
緑豊かな秋が瀬公園で、真夏のBBQを堪能しました。
○2023年6月22日 第44次工作機械技術振興賞 論文賞 受賞式
山田洋平、池田知陽、小松崎伶美、池野順一
「SiCの精密レーザスライシング第2報」砥粒加工学会誌第65巻10号pp.549-555掲載論文
※山田先生が受賞者を代表して記念講演を行いました。
受賞記念写真 |
山田洋平先生 受賞記念講演 |
○2023年6月1日 公益社団法人精密工学会生産原論専門委員会令和5年度第1回研究会
「御神鏡と研磨」 会場：諏訪市駅前交流テラスすわっチャオ会議室にて開催
八剱神社 宮阪宮司、金子ゆかり諏訪市長とともに |
○2023年5月25日（木) 新入生歓迎会
北浦和駅周辺のお店（下記）で開催しました。
https://tonokura-kitaurawa.owst.jp/
○2023年3月24日 卒業式／修了式 おめでとうございます。活躍を期待しています。
機械工学科棟 垂れ桜の前にて 2023.3.24 |
先端加工実験室前にて 2023.3.24 |
○2023年3月21日 ラボ訪問
中学生、高校生の女子６名が研究室を訪問しました。
レーザマーキングの実演を見学しました。
○2023年3月15日、16日 精密工学会春季大会学術講演会
以下の研究成果発表をしました。
[ 生産原論 (1)]
E43 生産原論専門委員会の紹介- 2022 年度活動-
池野順一（埼玉大）、他10名
E45 青銅鏡の磨きに関する調査研究
池野順一（埼玉大）、山田洋平（ 〃 ） |
[ レーザ加工 (3)]
D108 単結晶ダイヤモンド(100) のレーザスライシング
松坂勇亮（埼玉大）、山田洋平（ 〃 ）、池野順一（ 〃 ）、
野口 仁 （信越化学工業）、鈴木秀樹 （信越ポリマー）
D109 レーザスライシング法を用いたガラスレンズ創成、
山田洋平（埼玉大）、高塚望史（ 〃 ）、池田俊太（ 〃 ）、
池野順一（ 〃 ） |
○2023年3月10日 Grinding Technology JAPAN 2023（幕張メッセ）
池野教授が砥粒加工学会会長として基調講演を行いました。
講演題目「時空を旅する砥粒加工」（国際会議場201号室）
○2023年3月3日 送別会（お店には万全な感染対策をして頂きました）
3年ぶりに送別会ができました。新社会人となる諸君の活躍を期待しています！
（高塚君の最新スマホで撮影してもらいました） |
○2023年2月26日 小林昭先生記念樹 紅梅
○2月28日 修士論文中間発表会・モノづくり創造演習発表会
○2月21日 卒研B発表会
○2月13日 修士論文審査会
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○公益社団法人砥粒加工学会 優秀講演賞受賞 入江創太さん
・入江創太，東駿佑，山田洋平，池野順一，倉原佑規，真野稔正、窒化ガリウムのバフ研磨加工、2022年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC）論文集、239-240、2022．8.29.
Congratulation! |
○2022年12月21日 2022年最後の月末報告会
興味深い研究成果が沢山出ています。技術はサイエンスに裏付けされたものでなければなりませんが、サイエンスの領域を広げながら新技術というものは、開発されていくのだと思います。これからも楽しみながら研究して下さい。
○2022年12月14日〜16日 SEMICON JAPAN 2022（東京ビッグサイト）
今年も研究室紹介をポスター展示しました。（撮影：高塚）
ブースに寄って頂いた皆様に心より感謝申し上げます。
  
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○2022年10月18日〜19日の二日間で月下美人が咲きました。
10月18日 午後10時ころ（入江君撮影）
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10月19日 午後9時30分ころ |
○2022年9月22日 卒研A発表会
| 1 |
足立 志遠 |
金属とGaNの摩擦試験 |
| 2 |
國廣 健 |
SiCのC面における表面現象の解明 |
| 3 |
渡辺 悠哉 |
アルカリ蒸気を用いたSiC表面のエッチング |
| 4 |
田中 秀明 |
溶融アルカリエッチングを用いたSiCウエハの研磨 |
| 5 |
坂口 恭祐 |
DOEを用いた単結晶SiCのレーザスライシング加工 |
| 6 |
池田 俊太 |
レーザスライシングによるガラスレンズ作製 |
| 7 |
川村 晟也 |
ダイヤモンドのレーザスライシングを用いた剥離加工 |
| 8 |
滑川 大翔 |
窒化ガリウムのレーザスライシングに関する研究 |
○2022年9月20日
生産環境科学研究室ぺぺロンオイル完成
※研究室で育てた鷹の爪を数週間乾燥させてから、エキストラバージョンオリーブ油に
１ヶ月間漬けて熟成させました。
○2022年8月30日
公益社団法人砥粒加工学会 贈賞式
山田洋平助教が「砥粒加工学会奨励賞」を受賞しました。
JSAT HPより抜粋（左：山田洋平） |
○2022年8月29日
公益社団法人砥粒加工学会ABTEC2022（神奈川大学みなとみらいキャンパス）
・三浦祐介，山田洋平，池野順一、結晶化ガラスのレーザスライシング、2022年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC）論文集、155-156、2022．8.29.
・山田洋平，納谷剛志，岩瀬比宇麻，中西賢一，池野順一、カーフロスを制御した SiC のレーザスライシング法、2022年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC）論文集、161-162、2022．8.29.
・加藤淳暉，木之下美佐紀，山田洋平，池野順一、アルカリ雰囲気における SiC のエッチング現象、2022年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC）論文集、233-234、2022．8.29.
・入江創太，東駿佑，山田洋平，池野順一，倉原佑規，真野稔正、窒化ガリウムのバフ研磨加工、2022年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC）論文集、239-240、2022．8.29.
○2022年7月2日 生産環境梅酒「事無咲酒」（ことなえぐし） 蔵出し（仕込み2021年5月）
事無咲酒とは： 病気や災厄などの悪事をはらい、
飲めば心が楽しくなり、顔がにこにことほころびてくるような酒
○「鷹の爪」成長記録（4月〜８月）
※実が赤くなったら収穫して干して完了です。機械工学科棟5F東端
○2022年7月2日 月下美人が12個の花を咲かせました。
○2022年4月6日 学部4年生 研究室配属 8名の学生が配属されました。→ 
○2022年3月24日 卒業式・修了式
卒業、修了おめでとう！
修士修了 向かって左から藤田君、木之下さん、山火君
（小松崎さん、斉藤君は入社準備で欠席） |
学部卒業 向かって左から東君、河口君、加藤君、菊地君、松坂君
（水頭君、篠原君、阿部君、三浦君は欠席）
|
先端加工実験室の前にて
→  |
○2022年3月18日 令和3年度 学生表彰式
藤田君、入江君が受賞しました。おめでとう。
坂井学長とともに記念撮影 |
○2022年3月8日
ここ1年間で受賞した藤田泰次郎君と入江創太君が大学広報の取材を受けました。大学HPに記事が掲載されました。
○2022年3月4日、オンライン
砥粒加工学会先進テクノフェア（ATF） 卒研発表会（3/4）で、B4 松坂 勇亮君、菊地 拓君が発表しました。ご苦労様でした。
○2022年3月4日、砥粒加工学会本部（セラミックスビル）にて
２０２１年度砥粒加工学会論文賞・熊谷賞のダブル受賞しました。
砥粒加工学会誌 第６４巻１２号 pp.635-642掲載
「SiCの精密レーザスライシング 第１報：カーフロスを考慮したスライシング法の検討」
山田 洋平, 池田 知陽, 池野 順一
http://www.saitama-u.ac.jp/topics_archives/2022-0314-1546-9.html
 |
 |
| 論文賞 |
熊谷賞 |
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○12月15日〜17日、東京ビッグサイトで開催されたSEMICON2021に参加しました。
パワー半導体基板SiCのレーザ加工、高速精密研磨加工、高速鏡面エッチング加工、サファイア基板の高速研磨法、ダイヤモンドのレーザスライシング、レーザスライシングによるガラスレンズ創成法などを発表しました。
○12月9日 如水会館にて表彰式
公益社団法人砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会から、研究室スタッフに功労賞が贈られました。（山田、田附、池野）
○藤田泰次郎君が砥粒加工学会優秀講演賞を受賞しました。
ABTEC2021にて発表 「ダイヤモンドのレーザスライシング」
 Good job！
〇砥粒加工学会ABTEC2021、精密工学会秋季大会学術講演会で研究成果を発表しました。
○卒研生の研究テーマが決定しました。それぞれ先輩から研究スキルを習得中です。また、マイクロナノ加工学にて、基礎知識の習得中です。
○卒研４年生９名が研究室メンバーに加わりました。研究室での経験が諸君らの行く末を明るく照らしてくれますように。期待しています。
○卒業式 残念なことにコロナ禍で卒業式典は規模を縮小して行われました。
研究室4年生有志によるの卒業記念撮影 Congratulations！前途洋々。
○入江創太君が公益社団法人砥粒加工学会先進テクノフェア（ATF2021）
卒業研究発表会で「ポスタープレゼンテーション賞」を受賞しました。
発表題目「多孔質弾性パッドを用いた単結晶サファイアの高速・高圧鏡面加工」
 Good job！
○生産環境科学研究室 オリジナルネクタイ止を制作しました。
研究室のメインテーマであるレーザ加工と砥粒加工をモチーフにしています。
上部：1960年メイマンが発振に成功したルビーレーザ装置をデザイン化
（仏教では光は智慧や慈悲を象徴するもの、ルビーの宝石言葉は「情熱・熱情・純愛・勇気・自由」）
下部：研究室で発明された砥石による鏡面研削をデザイン化
（古代より砥石は「魔除け」と「力」の象徴、鏡は神の力が宿り、真実を映し出す三種の神器の一つ）
※OBの皆さんへ
出張のついでに研究室によって頂ければ一つ進呈します。是非、後輩に会社の話を聞かせて上げて下さい。
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○2020年度FA財団論文賞を受賞しました。(12/11)
「FA」および「産業用ロボット」、ならびに「これらに関する技術」に関する研究開発の奨励およびその進展、人材の育成を促進することを目的とした賞です。内容が独創性に優れ、かつ工業的価値が高いと認められる論文の著者で、大学、公的研究機関、および企業の研究者または技術者が対象となります。 http://www.faf.or.jp/service.html
受賞論文：山田洋平、池野順一、鈴木秀樹、「単結晶シリコンの精密レーザスライシング技術」精密工学会誌，85-5，426-431，2019．
○山田洋平助教が「学長奨励賞」を受賞しました。
11月13日(金)、令和２年度学長表彰表彰式が開催されました。職務に顕著な功績があった教員と社会的な功績があった教員を表彰することを目的としています。平成29年度に創設した制度です。表彰には教育・研究活動に顕著な功績があった教員に「学長賞」、「学長奨励賞(教育・研究)」及び「学長特別賞(みずき賞)」が授与されます。
○9月25日 第３ターム開始
○9月24日 卒業研究A 審査会
○8月17日 レーザメンテナンス
○第41次工作機械技術振興賞 論文賞に決定しました。
精密工学会誌第85巻5号掲載論文
「3 次元レーザスライシングによるガラス光学素子の作製」
阿部達毅，山田洋平，池野順一，鈴木秀樹
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/85/5/85_426/_pdf/-char/ja
○6月8日（月）から研究活動を再開します。
○2020年度研究室紹介（卒研生勧誘）ポスターが修士1年生によって制作されました。
→ 
○卒業おめでとう！
ウイルス感染の影響で卒業式は中止となりました。研究室で記念に撮った一枚です。
○追いコン 北浦和駅前（2020年3月24日）
諸君の頑張りにお期待します。輝かしい未来を！
○2019年度精密工学会沼田記念論文賞を受賞しました。(2020.3)
精密工学会誌第85巻5号掲載論文
「３次元レーザスライシングによるガラス光学素子の作製」
阿部達毅，山田洋平，池野順一，鈴木秀樹
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/85/5/85_426/_pdf/-char/ja
○2019年度砥粒加工学会賞論文賞を受賞しました。(2020.2)
砥粒加工学会誌第63巻1号掲載論文
「高能率鏡面研磨用砥粒（MeCCA)の開発」
藤本俊一、篠崎颯典、山田洋平、池野順一、島本時治
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsat/63/1/63_36/_pdf/-char/ja
左から順に、島本、藤本、向井会長、篠崎、山田、池野
（2020年2月28日学会本部ビルで行われた贈賞式）
−−−−−−−−−−−−− 2020 ↑ −−−−−−−−−−−−
○8月28日〜30日 ABTEC2019埼玉大学に開催 
・池永幸平君が2109年度砥粒加工学会優秀講演賞を受賞しました。
ABTEC講演論文タイトル 「溶融NaOHを用いたSiCの高能率鏡面研磨」
・田口隆一君がティ・ディ・シー奨励論文賞を受賞しました。
・山田 海君が住田光学ガラス奨励論文賞を受賞しました。
 
TDC赤羽社長 住田光学ガラス 沢登常務取締役
・生産環境科学研究室がBest Poster Presentation賞を受賞しました。
 
○オープンキャンパス 2019.8.7
オープンキャンパスで研究室公開をしました。盛況で実験室に入れなかった人もいました。
レーザ微細加工について説明をしました。暑い中ご苦労様でした。
 
○浦和で暑気払いをしました。2019.8.2
浦和駅前の居酒屋で暑気払いをしました。田附さんとOBも4名参加してくれました。
楽しい一時でした。
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○SEMICON JAPAN（東京ビッグサイト）
12月12日〜14日にビッグサイトでセミコンショーが開催されました。例年どおり、研究室の展示を行いました。今年は、SiCの高速鏡面エッチング、SiCの砥粒レス研磨、サファイア研磨用複合砥粒、ガラス研磨におけるセリア砥粒の影響要因、レーザを用いたSiCの潜傷探査、レーザによるガラスエッジ処理の研究を紹介しました。
○ホームカミングデー特別講演 小松和彦氏（国際日本文化研究センター所長、阪大名誉教授）
１０月１３日（土）１４：５０〜１５：５０ 小松先生による特別講演「竜宮の謎」がありました。先生は教養学部のOBで埼玉大学フェローでいらっしゃいます。竜宮城には、四方四季、不老長寿の二つがあるそうです。そのほかの物語でも異界にはこの二つが備わっているそうです。浦島太郎の話の最後は、玉手箱を空けた太郎が太郎が鶴になって神となり、めでたしめでたしというものと、灰になって風に飛ばされるというものがあるそうです。お話しを聴いていて想像をかき立てられました。
講演をされる小松和彦先生
○学生表彰（2018.10.13）
学生表彰で金子祥大君が学術表彰されました。
2018年精密工学会春季大会学術講演会でベストプレゼンテーション賞を受賞 
山口宏樹学長から表彰状を贈られる金子祥大君
○レーザ協会１８２回研究会開催 
日時：２０１８年９月１４日（金）13:30-17:00
場所：埼玉大学総合研究棟１Fシアター教室
主テーマ： 「レーザ微細加工技術の新たな潮流」
特別記念講演 「レーザ加工のおもしろさ」新井武二（中央大学）
講演１ 「サブナノ秒パルス発生技術とその応用」多久島裕一（オプトクエスト）
講演２ 「レーザ微細穴加工と再生医療」三木直樹（ラステック）
講演３ 「レーザ微細加工の新展開」池野順一（埼玉大学）
レーザ協会は、かつてレーザ加工研究会と称していました。レーザ関連では、2021年に50周年を迎える日本最古の組織です。これを創設したのはかつて埼玉大学で教鞭を執られた小林昭教授でした。今回の研究会は、縁の深い大学での開催となりました。新井武二先生の特別記念講演では、「分かり切ったことをしていても大学はだめ」「不思議な現象に出会ったらそれを解明し、レーザ加工の新たな展開に活かしていくのが大学の役割」ということでした。全く同感です。多久島様からは新しいレーザ発振器開発についてお話しを伺いました。加工に使ってみたいレーザばかりで大変興味を持ちました。三木様からは医療分野で応用されるレーザ微細加工についてお話しを伺いました。微細加工の可能性を感じました。いずれも大変有益なお話でした。あらためて御礼申し上げます。
  
庄司会長 討論の様子 会場の様子（司会比田井先生）
  
新井講師 多久島講師 三木講師
○精密工学会 秋季大会学術講演会
9月5日〜7日まで函館アリーナで開催されました。4日は台風に追われるように函館入りし、一晩台風の通り過ぎるのをじっと耐えて、晴れやかな大会初日を迎えました。矢代君にとっては初めての学会発表でした。60分間のポスターセッションでは人が途切れることなく討論しており、本人もほっとしたようでした。その晩は美味しい魚介を頂戴し、ほろ酔い気分でホテルに戻りました。ところが、寝静まったころ函館は震度6の地震に見舞われ、大会2日目以降は中止となってしまいました。想像以上に大変な状況でした。被災された住民の皆さんに心より、お見舞い申し上げます。
 
討論の様子（矢代君） 函館アリーナ
○砥粒加工学会ABTEC2018 8月29日（水）〜31日（金）
金沢大学（角間キャンパス）でABTEC2018が開催されました。大雨に見舞われながらも、盛況な大会となりました。金子君が研究発表を堂々としてくれました。会場にいた先生からは高い評価をいただきました。懇親会は加賀藩家老の迎賓館だった屋敷で行われ、金沢らしさを満喫しました。
 
立て看板 懇親会催し物
○日本機械学会 茨城講演会 8月22日 （日立）
篠崎君、森君、山口君が研究成果を発表しました。前日は日立の見学ツアーがあり、学生諸君も参加しました。その晩の懇親会では学生は大いに盛り上がったようです。茨城大学の先生からは「埼玉大学の学生は礼儀ができていてジェントルマンだ」と評価されていました。準備に奔走された実行委員会の皆様に感謝します。また、気を使ったであろう学生諸君にも、ご苦労様でした。(~_~;
帰りに特急の車窓からみた風景がとっても素敵だったので思わず撮影してしまいました。
○８月７日 大学説明会
学部の入試説明会が行われました。台風の接近で一旦猛暑は収まりましたが、あいにくの小雨となりました。今年は理工学研究科棟１階のロビーと実験室を使って見学会を行いました。見学時間が10分間〜15分間／研究室だったので、レーザカラーマーキングに絞っての紹介・見学となりました。
大学選びは人それぞれですが、その時々の状況において自分を一番成長させてくれる大学を選びたいものです。
 
理工学研究科棟１階ロビー 研究室見学
○光学機器メーカの見学会 （8月6日（月）15時〜17時）
技術力の高さで定評のある県内光学機器メーカ（OPQ)に協力をお願いして工場見学会を行いました。レーザ開発、光学薄膜技術、加工技術について説明をしていただき、見学で理解を深めることができました。レーザ加工技術は、新しいレーザ発振器の開発で新たな発展があります。大変勉強になりました。
OPQの上尾工場
○２０１８年７月１４日 125回ATOMが当研究室と工作研で開催されました。
レーザスライシングによるシリコンの切り抜き加工を実演する山田助教
○２０１８年３月１５日〜１７日、精密工学会春季大会（中央大学）で成果を発表した金子君がベストプレゼンテーション賞を受賞しました。
H37 SiC の溶融アルカリを用いた研磨加工に関する研究
金子祥大（埼玉大）、山田洋平（ 〃 ）、池野順一（ 〃 ）、鈴木秀樹 （信越ポリマー）
２０１８年５月１１日（金）、伍会が開催されました。機械工学科棟５階にある３研究室（設計工学、制御工学、生産環境科学）合同の飲み会です。もともと各研究室は分野が異なるため、これまであまり交流がありませんでした。しかし折角なのでもっと交流し、みんなが顔の見える居心地の良い「階」にしようというのが「伍会」の主旨です。年一度とりあえず飲もうというところからスタートです。当日は「伍会は楽しい」という声も学生から聞かれました。また、開催されるのを楽しみにしています。
２０１８年３月２０日（火）、研究室の追い出しコンパを北浦和の焼鳥屋で行いました。修士学生の４名、学部４年生の３名が研究室を巣立っていきます。社会に出ても研究室の仲間とは永く付き合ってもらいたいものです。時々は研究室にも遊びに来て下さいね。諸君らの活躍に大いに期待しています。
２０１８年３月１５日〜１７日、精密工学会春季大会（中央大学）で成果発表を行いました。
○H37 SiC の溶融アルカリを用いた研磨加工に関する研究
金子祥大（埼玉大）、山田洋平（ 〃 ）、池野順一（ 〃 ）、鈴木秀樹 （信越ポリマー）
○H39 弾性パッドによるSiC の砥粒レス研磨加工に関する研究
高橋尚也（埼玉大）、山口功太郎（ 〃 ）、山田洋平（ 〃 ）、池野順一（ 〃 ）
阿部 健（アイオン）、真野稔正（ 〃 ）
○C64 MgO ウエハのレーザスライシング加工に関する研究
山田洋平（埼玉大）、池野順一（ 〃 ）、野口 仁（信越化学工業）、鈴木秀樹（信越ポリマー）
２０１８年３月７日（水）、学生表彰式が学内で執り行われました。本研究室の佐野侑希君が表彰されました。2017年度精密工学会秋季大会にてペストプレゼンテーション賞を受賞したことが評価されました。研究題目 「
酸化セリウム砥粒がガラス研磨に及ぼす影響要因に関する研究」
２０１８年１月１６日（火）、２０１８年度の卒業研究配属にむけた研究室紹介ポスターができました。
来年度主導的な立場になる現修士１年諸君に制作してもらいました。
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２０１７年１２月２１日（木）、研究室忘年会を「北浦和やきとり横丁」で行いました。
この日は月末報告会（前半）→講義→大掃除→月末報告会（後半）と午後６時まで行い、午後７時から北浦和駅前のやきとり横丁で忘年会を行いました。卒業、終了する学生はまとめや追加実験などで慌ただしい日々ですが、しばし忘れて大いに飲んで楽しんでいました。来年も良い年になりますように。
２０１７年１２月１３日（水）〜１５日（金）、SEMICON JAPAN ビッグサイト
半導体産業界でもっとも規模の大きい展示会SEMICON JAPANがビッグサイトで開催されました。今年も研究室の成果を一部出展しました。多くの皆様にお立ち寄りいただき、有益なご助言を頂戴しましたこと、あらためて御礼申し上げます。
・レーザスライシングによるSICウエハ作製に関する研究
・レーザスライシングによるガラスレンズの作製に関する研究
・人造セリア粒子の焼成による研磨特性の向上に関する研究
・レーザを用いたアクリル内部の3次元微細流路作製に関する研究
２０１７年１２月２日（土） 精密工学会九州支部 熊本地方講演会
精密工学会理事として 「SiC基板加工における新たな試み」と題した特別講演を行いました。次の日は休日の熊本城に足を運びました。何十年もかかる修復工事が始まったばかりで、痛々しい光景が随所に見られました。お堀の外では工事の様子を手を合わせてじっと見守る方を見かけしました。地元で熊本城の存在が如何に大きく、如何に愛されているかを感じました。
熊本県立美術館分館では水俣病展2017が開催されていました。水俣での痛ましい経験が震災や原発事故など様々な災難や現代社会の課題解決にどれだけ生かされているのかを問う展示でした。一日も早い熊本の復興をお祈りします。
２０１７年１１月２６日 オープンラボ
オープンラボ「マイクロ・ナノの世界」を実施しました。１３０名を越える皆様にお越し頂きました。小学生〜高校生、一般の方を対象とした微小サイズの世界を電子顕微鏡で観察、微小時間の世界を高速度ビデオで観察しました。また、表面凹凸を表面性状装置でなぞって確かめました。
電子顕微鏡観察で質問に答える熊本君
高速ビデオ撮影をする高橋君と秋元君
表面性状測定装置で計測する阿部君
 ← オープンラボアンケート調査結果
集計してわかったTOPIC
１）埼玉県外の関東地域からも３０％以上参加
２）８０％以上が家族連れ
３）６５％が社会人と父兄、高校生は１５％
４）９０％以上が楽しかった、興味が持てた
５）７０％が開催を学内に来てから知った
６）進路の参考のため参加した人は１２％。多くはたまたま
７）８２％がまた参加したいと答えた
８）感想の中に、「研究成果について知りたい」とあった。社会人と父兄が６５％を占めている現状を考えれば研究成果展示は大事。知的好奇心をもって参加していることがわかる。
９）小学生や中学生に対して興味を持ってもらうための企画としては今回の内容は良かった
２０１７年１０月３１日 研究室メンバーが受賞しました。
＜精密工学会 ペストプレゼンテーション賞＞
佐野侑希 「 酸化セリウム砥粒がガラス研磨に及ぼす影響要因に関する研究」
＜砥粒加工学会 優秀講演賞＞
山田洋平 「SiCのレーザスライシング加工に関する研究」
２０１７年１０月１０日 産総研見学
国立研究開発法人 産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センターの加藤智久様、河田研治様に研究センターの紹介をしていただき、その後見学会を実施していただきました。SiCの材料開発、加工技術、デバイス技術全てを網羅した研究センターは世界に例を見ない規模であり日本が誇る最先端研究組織です。大変、勉強になった一日でした。また、最後に楽しく懇談の機会を設けていただき、学生共々充実した時間を過ごさせていただきました。あらためて感謝申し上げます。
２０１７年９月２０日〜２２日 精密工学会秋季大会学術講演会
大阪大学豊中キャンパスで開催された精密工学会秋季大会で研究成果を発表しました。
- 佐野侑希（埼玉大） 森 和生（ 〃 ） 池野順一（ 〃 ） 山田洋平（ 〃 ）：酸化セリウム砥粒がガラス研磨に及ぼす影響要因に関する研究 (A08)
- 山田洋平（埼玉大） 阿部達毅（ 〃 ） 浅原浩和（ローム） 富士和則（ 〃 ） 明田正俊（ 〃 ） 池野順一（埼玉大）：SiC のレーザスライシング加工における剥離面性状（F08）
- 金子隆典（埼玉大） 工藤 岬（ 〃 ） 山田洋平（ 〃 ） 池野順一（ 〃 ）：フェムト秒レーザを用いたアクリル樹脂内部の微細流路作製に関する研究（F12）
- 加藤大輝（埼玉大） 秋元隆志（ 〃 ） 山田洋平（ 〃 ） 池野順一（ 〃 ） 阿部 健（アイオン） 真野稔正（ 〃 ）：メカノケミカル弾性砥石の作製と性能評価に関する研究（A19）
２０１７年８月３０日〜９月１日 砥粒加工学会 学術講演会ABTEC2017
福岡工業大学で開催されたABTEC2017にて研究成果を発表しました。
- 山田洋平，阿部達毅（埼玉大学），浅原浩和，富士和則，明田正俊（ローム），池野順一（埼玉大学）：SiCのレーザスライシング加工に関する研究（C28)
- 阿部達毅，Fathin Nadia，山田洋平，池野順一（埼玉大学）：ガラスの3次元レーザスライシング加工(C29)
２０１７年８月８日 IINAサイエンスプロジェクト
埼玉県立伊奈学園総合高等学校の生徒28名が工学部に体験実習に来ました。電気電子システム工学科の田井野准教授には超伝導体を用いたセンサー、機械工学科の山田洋平先生には超精密加工、学生諸君にはレーザ加工や電子顕微鏡の実習を担当頂きました。
見学会では実習工場の技術職員の皆様に旋盤、フライス、マシニングセンターの実演をしていただきました。図書館では情報課の小野寺様にファーブル昆虫記（初版本）とファーブルの直筆原稿を見せていただくと共に、埼玉大学の前身である官立浦和高等学校の展示もご紹介頂きました。分析センターの皆様にも詳細な説明をして頂きました。あらためて御礼申し上げます。
大変好奇心旺盛な生徒諸君で、将来が楽しみです。当サイエンスプロジェクトを指導されている佐賀教頭先生、塩原先生をはじめとする先生方のご尽力で、今回の高大共同イベントができましたこと感謝申し上げます。
 ← 実習＆見学会風景（撮影：高橋尚也君）
２０１７年７月３１日
日本大学文理学部地球科学科 竹村教授研究室を訪問
天然砥石への情熱未だ冷めやらず。これからもよろしくお願いします。
２０１７年６月
研究室オリジナルブルゾンができました。高橋君（Ｍ２学生）のデザインで山田先生が製作してくれました。
２０１７年４月２７日（木） 新入生歓迎会（北浦和駅西口周辺の居酒屋にて）
卒業研究のため、研究室に９名の先鋭達が配属されました。すでに先輩からは装置の使い方を習い、一年間の研究の指針が示されました。OBも３名参加し、歓迎会は大いに盛り上がりました。勢いの良い学生達ばかりで頼もしい限りです。一年間、よろしく！
 
２０１７年３月２３日 修了生、卒業生追い出しコンパ
北浦和駅近傍の中華屋で追い出しコンパを行いました。社会人として立派にお役目を果し、幸多き人生であることを願います。頑張りに期待しています。いつでも君たちを応援しています。
２０１７年３月１３日〜１５日 精密工学会春季大会学術講演会にて成果発表
望月君、阿部君、大野君、高橋君が成果発表を行いました。４年生の望月君と阿部君はこれが学会デビューでした。いろいろなご助言を頂き、刺激となりました。進路は様々ですが今後に活かしてもらいたいと思います。もし、学会発表を聴講されて関心を持たれた企業がありましたら、研究室をお訪ね下さい。歓迎します。
２０１７年２月２８日 OB大橋君来校
研究室の学生に化学会社での機械工学の重要性や、活躍の場としての魅力を紹介してくれました。元気に海外出張もこなし楽しんでいる様子でした。
２０１７年２月２４日 県内企業「小金井精機」を見学しました。http://www.koganeiseiki.co.jp/
レース用エンジンや新規開発エンジンで使用される加工困難な部品を、類い希なる高精度加工技術で試作する企業を見学しました。設備は天下一品。しかし設備だけでは最高の製品はできません。圧倒的な人材と技術力も天下一品でした。昼食をとりながら鴨下会長のお話を伺い、強さの一端を少しだけ垣間見たような気がしました。まさに埼玉県が世界に誇る素晴らしい企業でした。
２０１７年２月２４日 OB金羽木君来校
研究室の学生との懇談を楽しみました。豊橋で元気に研究開発しているそうです。またゴルフに釣りに生活を楽しんでいる様子を話してくれました。帰りがけに一枚写真を撮りました。
２０１７年１月１３日 機械工学科１年生の実地研修 羽田空港にて
機械工学科１年生の研修を行いました。今年は日本航空のご協力で航空産業界の技術について見学、勉強させて頂きました。研究室の大学院生も教員の補助をしてくれてトラブルもなく無事実施することができました。
研修は飛行の原理や航空機の様々な技術、システムについて説明を受けた後、２つの格納庫を見学しました。最後に航空機の安全についての講義をしていただきました。
航空機のタイヤは１本100万円！B社の優れた製品が日本ではほぼ市場を占めていることを知り、大変感心しました。この見学会の三日後に、奇しくも私の車がパンク。普段は高くて選ばないB社のタイヤを思わず購入してしまいました。(~_~;
格納庫では、大型旅客機が定期整備中で整備士の皆さんが作業をしていました。見学できて大変ラッキーでした。それにしても航空機の大きさにはあらためて驚かされました。この旅客機本体の重量は165t、燃料は145t、客や荷物は30t、外壁には3tもの特殊なペイントを使用しているそうです。燃料は主翼の中に貯蔵されています。（ついでにお金の話で恐縮ですが、タービンブレードは一枚1000万円だそうです） 新幹線7車両分が一気に飛び立つのです。テクノロジーとはすごいモノです。
格納庫2階のテラスから１階地上に降り、いよいよ滑走路から飛び立つ航空機を見学。上の写真は皆のワクワクする気持ちを伝える一枚です。飛び立つ航空機の勇姿を眺めていると、あらためてテクノロジーのすばらしさを実感し、テクノロジーに対する深い信頼感を抱きました。
余談ですが次の日のセンター試験では、ICプレイヤーが故障しないか冷や冷やし、テクノロジーを心底信頼していたのではないのか・・・と自問自答しました。結論としては、うまく説明できませんが ケースバイケースということで・・・。(~_~;
幾つかのグループに分かれて見学をしました。上の写真はグループで記念撮影したものです。見学中には金属疲労のこと、静電気除去のこと、レーダのことなど航空機の機体について平易な言葉でわかりやすく説明して頂きました。
この見学のあとは、航空機の安全について講義を80分間して頂きました。講師は整備に長く携わられた電気工学を専門とされる技術者の方でした。ハードや制御システムなど航空機に必要な技術は、現在かなり高いレベルにあり、完成度も十分高いとのこと。事故率も確実に減少の一途を辿っているとのこと。ただしその裏には、「人間は錯覚し、ミスをする生き物である」という大前提を認めた上で蓄積された安全技術があることを知りました。講義途中には心理テストなど大変楽しいVRTも見せて頂き、あっという間の80分でした。さすが安全を第一とする航空機会社のお話しと大変感心した次第です。研究室での安全教育にも十分適合するお話しでもあり、大変興味深くお話しを伺いました。このような有意義な見学、講義をして頂いた日本航空関係者の皆様方に心より御礼申し上げます。おもてなしのプロならではの見学会でした。
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１２月２６日 研究室忘年会 インド・ネパール料理店にて
今年の締めはエスニック料理でした。食べきれないほど美味しい料理が出てきました。会場を設定してくれた学生諸君に感謝です。卒業生、企業の方も参加されて楽しい一時を過ごすことができました。来年も健康で夢に向かって進める一年となりますように。
１２月１４日〜１６日 SEMICON JAPAN ２０１６ にて展示
毎年、研究室では半導体産業界の一大イベントSEMICONに、その年研究室で学会発表した最新の研究成果を展示することにしています。今年は以下のポスターを展示しました。お立ち寄り頂き、熱心にご質問、ご助言を賜りました皆様に感謝申し上げます。
１）溶融アルカリエッチングによるSiCの高速鏡面創成法
２）酸化剤を用いたSiC用鏡面研削砥石
３）半導体結晶材料のレーザスライシングおよび切り抜き加工
４）機能を発現するアクリル樹脂内部のレーザ3次元加工法
９月２６日（月） 永嶋君の追い出しコンパ
研究室ではメカノケミカル砥石の研究をこれまでも行ってきました。しかし気孔に着目して砥石構造の研究を進めたのは電気泳動法以来久しぶりでした。永嶋君はアクリル微粒子では気孔が成長せず、微粒子の形状のまま気孔ができることを見出し、大変有益な砥石の開発に成功しました。新しい誰も知らないことに挑戦し、真実を見出していくという経験を、今後の仕事にも活かしてもらいたいと思います。
追い出しコンパは近所の居酒屋で行われ大変楽しい会となりました。
９月２３日（金） 秋期修了式
永嶋雅俊君の修了式が学内で挙行されました。
修士論文
「鏡面創成のための多孔質ビトリファイドボンド砥石の作製と特性評価」
Review：本論文は難加工性材料である半導体結晶材料SiCの高効率な鏡面創成用砥石の開発を目的とした研究である。鏡面創成メカニズムにメカノケミカル反応を利用し、砥石摩耗を抑え反応場（局所的な高温高圧）を形成するために、新たなシリカビトリファイドボンド砥石を開発した。一般的に酸化物系のビトリファイドボンド砥石は結合材との相性が悪く製造困難とされるが、ここではスライムに着目して硼砂をボンド剤に利用することで製造に成功している。さらに砥石強度調整のための構造創成に取り組み、低温領域での昇華が期待できるアクリル微粒子に着目して、均一な多孔質体の創成に成功している。これにより、加工時に安定した自生発刃作用が生じ、SiCを20ミクロン毎時で0.9ナノメータRaの鏡面に仕上げることに成功している。この成果は砥粒加工学会で発表し、優秀講演賞を受賞している。また、学内では学生表彰を受けるなど学内外で高い評価を得ている。最終審査でも好成績を修めたことから修士（工学）の学位に値すると判断した。
主査：池野順一教授、副査：堀尾健一郎教授、森田真史教授
９月１６日（金） 卒業研究A審査会
卒業研究Aは４年前期の研究成果を発表し審査を受け合格すれば単位を取得できます。９月前半は複数の学会で秋季大会があり、教員や院生諸君は発表準備で忙しい時期でもあります。日曜日も返上で４年生の面倒を懸命にみてくれた研究室の山田助教はじめ院生諸君に感謝します。審査会では他研究室の先生方に審査をして頂き、沢山の質問、助言を頂きました。
卒業研究Aをまとめると、研究の課題が明確になってきます。卒業研究Bでは、これを足がかりにさらに深奥を極め、自分の小さな殻から脱皮し一回り大きくなってもらいたいと思います。学生諸君には大いに期待しています。
９月６日（火）〜８日（木） 精密工学会秋季大会（茨城大学 水戸キャンパス）
レーザ加工セッションとプラナリぜーションセッションで３件の研究成果発表を行いました。
山田洋平助教 レーザスライシングに関する研究を発表
本明拓也君（M２） SiCの鏡面エッチングに関する研究を発表
細川仁志君（M2） 触媒作用を利用したSiC用鏡面研削砥石の研究を発表
会場では活発な討論をしていただきました。発表者にとってもよい刺激になりました。あらためて関係各位に感謝申し上げます。
８月２５日（木）〜２６日（金） イノベーションジャパン2016参加（ビッグサイト）
「精密・微細加工技術」と題して、天然ゼオライトによるSiC鏡面研削加工技術の開発と、超短パルスレーザによるアクリル内部加工について展示を行いました。ブースにお立ち寄りいただき、熱心に討論していただきました企業の皆様に感謝申し上げます。（担当：金子隆典、篠崎颯典） ・・・ ご苦労様でした。(池野)
８月１０日（水） 研究成果発表会＆研究室大掃除＆打ち上げ
沖縄風味処「美崎」にて
８月９日（火） オープンキャンパス（大学説明会）
250名の見学者があった。（見学待ちの生徒に先端加工実験室前にて事前説明）
４月２１日（木）19:30〜
新入生歓迎会 北浦和駅 「膳」
http://r.gnavi.co.jp/gaja500/map/ ※OBの参加歓迎
４月１９日（火）
春の陽気に誘われて、河西名誉教授がふらっと研究室に遊びに来て下さいました。
大変お元気で、研磨研究のお話をされました。大いに刺激を受けました。
４月６日（水）
レーザ加工技術展（6日〜8日、Big Sight）
レーザ協会ブース（E37-27）で研究室の研究成果を展示しています。
・アクリルのレーザ３次元加工、・SiCにおける鏡面創成のためのレーザエッチング、
・レーザを用いた潜傷探査技術、・微小亀裂を連鎖させたレーザ切り抜き加工法
３月２７日（日）
追い出しコンパ 海鮮館（北浦和駅前）
社会に旅立つ諸君の健闘を祈る！ いつでも遊びにおいで。
OB諸君も駆けつけてくれました。
３月１５日〜１７日
公益社団法人精密工学会 春季大会（東京理科大学）
１） 大野： O08 フェムト秒レーザによる樹脂の3 次元加工（第4 報）
〜内部加工による機能性の付与〜
２） 本明： O15 レーザエッチングによるSiC の変質層除去及び鏡面化
３） 金子： O14 レーザスライシングを応用した切り抜き加工
４） 永嶋： E64 鏡面創成のための多孔質ビトリファイドボンド砥石の作製と特性評価
※レーザ加工セッションとCMPセッションで発表しました。発表が初めての学生もいましたが、何とか無事に？発表を終えました。学会は研究者にとって発表の場であり、勉強の場です。大いに刺激を受けて新たな研究テーマを考えるよいきっかけを与えてくれます。会場では山形県工業技術センターに行かれた岡田君ともうれしい再会がありました。
３月７日（月）
学生表彰（学術における貢献） 学長から下記の学生諸君が表彰されました。※緊張しましたね。
1) 永嶋雅俊君 2) 大野暁人君
 
３月４日（金）
公益社団法人砥粒加工学会 AFT（春季大会）にて発表しました。
1) 樋上・小金G 天然ゼオライトを砥石として用いたSiCの鏡面創成に関する研究
2) 加藤・細川G メカノケミカル研削現象のモニタリング
3) 渡邊・坂本G レーザ潜傷探査技術に関する研究
※就職する学生にとっては、最初で最後？の研究発表となりました。懇親会は無料で参加できましたが、居心地の問題もあり、学生諸君は参加しませんでした。学会としては若手が出やすい状況作りが必要ですね。また、ものづくり教育講座で学ぶこともできましたが、会社説明会のようでした。参加費は必要だったのでしょうか？今後の課題だと思います。また、会社説明会のような教育講座を今後も開催するのであれば、卒業発表会は修士学生の中間発表会に代えた方がよいと思いました。
３月１日（火）
修士論文中間審査会
２月２２日 卒業研究（B)審査会 13:00〜14:20 工学部講義棟52番教室
※卒業研究を短い決められた時間内でわかりやすく発表するために全力を尽くしました。22日の夕刻は解放感に満ちて幸せな時間を過ごしました。
・２月１６日 修士論文審査会 9:00〜9:20 工学部講義棟52番教室
小金裕貴君 「天然ゼオライトを用いた硬脆材料の鏡面創成砥石に関する研究」
※天然ゼオライトにSiC鏡面化（2nmRa）の効果のあることを実証しました。ゼオライトの価格は超微細シリカ粒子の1/15、ダイヤモンド砥粒の1/200と安価です。
・１月１３日 伍会（機械工学科棟５階の親睦会）開催
生産環境科学，制御工学，設計工学の３研究室による親睦会
交流によって新しい研究の芽を生み出そう．
助け合って優れた研究・学習環境を築こう．
楽しい雰囲気の中で互いに切磋琢磨できる環境をつくろう．
−−−−−−−−−−−−− 2016 ↑ −−−−−−−−−−−−
・年末年始 休暇 （しっかり休養）
２０１５年１２月２８日〜２０１６年１月３日
・１２月16日〜18日 SEMICON JAPANにて展示を行いました．
※ブースにお立ち寄り頂いた皆様から，産業界の生の声をお聞かせいただき，大変有意義な展示となりました．学会とは違う雰囲気の中で学生諸君も刺激を受け，また楽しんでいたようです．OBの皆さん（埼玉大学，豊橋技術科学大学）もわざわざブースまで来て頂きました．懐かしく楽しい一時でした．来年もまた新しい研究成果を展示したいと思います．
・１１月10日 2012年度卒業 菅野雄登君が来校しました。
・１１月22日（日） オープンラボを行いました。
「マイクロ・ナノの世界」 を電子顕微鏡（空間）と高速カメラ（時間）で紹介しました。
学生諸君の尽力で盛況でした。
・９月14日〜16日 LaserTech2015 レーザ協会ブースにて研究成果を展示しました。
・９月16日-18日（ビッグサイト）
※ 測定計測展で「レーザを用いた潜傷探査技術」をパネル展示しました。
・９月9日-11日（慶應義塾大学）
※ 砥粒加工学会学術講演会ABTEC2015にて研究成果を発表しました。研究紹介パネル展示も行いました。
・B06 鏡面創成のための多孔質砥石の作製と特性評価
○永嶋雅俊, 佐野侑希, 山田洋平, 池野順一
・C32鋼球を用いたレーザ3次元穴あけ加工法の研究
○大野暁人, 金子隆典, 渡部研太, 山田洋平, 池野順一
※上記２件は「優秀講演賞」を受賞しました。
・９月4日-6日 （東北大学）
精密工学会秋季大会学術講演会にて研究成果を発表しました。
・K03「 マイクロ・ナノの世界を知る」セミナーの試み
○ 山田洋平、池野順一
・C39 SiC のダメージレスレーザ加工
○ 本明拓也、高橋尚也、山田洋平、池野順一
・C61フェムト秒レーザによる樹脂の3 次元加工（第3 報）〜アクリル内部の立体物創成の
試み〜 ○ 大野暁人、金羽木惇二、渡部研太、金子隆典、山田洋平、池野順一
・８月〜９月
※ 修士１年の諸君が８月、９月の夏期休暇期間にインターンシップ（２週間）を体験しました。
学生にとって得難い貴重な体験でした。ご協力頂いた企業の皆様に感謝申し上げます。
タムロン（さいたま市）、日立金属（熊谷市）、ディスコ（大田区）、日産自動車（厚木）
−−−−−−−−−−−−− 2015 ↑ −−−−−−−−−−−−
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今年は初日に総理大臣が来訪されました。
