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| 研究設備 |
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装置 |
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レーザ加工装置＆
レーザ発振器 |
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超短パルスレーザ微細加工装置１ |
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超短パルスレーザ装置2 |
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ファイバー レーザ超精密微細加工機 |
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表面プラズモン援用レーザカラーマーキング装置 |
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YAGレーザ穴あけ加工装置(Lay-504A）1972年製造 |
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プラットフォーム型レーザ加工装置 |
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レーザスライシング装置1 |
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レーザスライシング装置2 |
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ナノ秒YAGレーザ（４波長選択） |
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高輝度YVO4パルスレーザ |
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Q-SW／CW YAGレーザ(レーザトラッピング装置組込み) |
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CW：YVO4レーザ（SHG） |
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レーザトラッピング装置（粘性測定機能） |
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３０W炭酸ガスレーザ |
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１００W炭酸ガスレーザ |
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パルスファイバーレーザ(波長1064nm） |
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小出力レーザ切断装置（波長1064nm）  |
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レーザマーキング装置（波長1064nm） |
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半導体励起固体Qスイッチレーザー20W |
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| 機械加工装置 |
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超精密研削／切削装置（東芝機械） |
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超精密研削装置（豊田工機） |
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ダイシング装置（東京精密） |
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片面研磨装置１（エンギス） |
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片面研磨装置２（ラップマスター） |
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片面研磨装置３（イマハシ） |
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片面研磨装置４（ケメットジャパン） |
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片面研磨装置5（不二越機械工業） |
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両面研磨装置（浜井産業） |
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自動切断装置（平和テクニカ） |
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ミニ旋盤（装置組込用） |
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CMP装置 |
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| 観察装置 |
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微分干渉顕微鏡（ニコン） LV150（落射） |
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| 顕微鏡カメラシステム AR-D300C |
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微分干渉顕微鏡（ニコン）ME600（落射＋透過） |
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赤外線顕微鏡（オリンパス） |
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倒立型微分干渉顕微鏡（オリンパスBX51） |
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| デジカメシステム |
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実体顕微鏡（ニコン）SMZ800 |
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実体顕微鏡（オリンパス2） |
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実体顕微鏡（シグマ光機） |
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レーザ顕微鏡（オリンパスLEXT3100） |
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レーザ顕微鏡（オリンパスLEXT4000） |
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電子顕微鏡（日本電子） |
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卓上電子顕微鏡（日本電子） |
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高速ビデオカメラ（フォトロンSA5） |
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サーモビデオカメラ |
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| 評価装置 |
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光学干渉式表面性状測定装置ZygoNew View6300
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光学干渉式表面性状測定装置CCI6000 |
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原子間力顕微鏡（SII） |
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原子間力顕微鏡（島津） |
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光学式３次元形状測定装置（三鷹光器） |
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触針式３次元表面性状測定装置（PGI) |
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触針式３次元表面性状測定装置（ミツトヨ） |
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触針式２次元表面粗さ＆形状測定装置（小坂研究所） |
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真円度測定装置（小坂研究所） |
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平面度測定装置（フジノン） |
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マイクロ ビッカース硬度試験機
（上段：マニュアル、下段：簡易マニュアル） |
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粒度分布測定装置（島津） |
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分光光度計（UV-3150 島津） |
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万能試験装置10kN（島津） |
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厚み測定装置（ミツトヨ） ライトマチック |
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厚み測定装置（東京精密） |
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分析電子天秤（メトラー）No.1 |
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分析電子天秤（メトラー）No.２ |
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分析電子天秤GH-252（AND）No.3 |
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圧電式動力計（キスラー） |
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摩擦試験装置 |
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歪みゲージ動力計（共和電業） |
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AE計測システム（NF回路ブロック） |
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バランサー（シグマ電子） |
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歪検出器（ルケオ） |
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複屈折評価装置（フォトニックラティス） |
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研磨定盤用平面度測定装置（レーザ） |
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| 実験機器 |
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リニア駆動エアスライド2軸ステージ |
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静電容量型センサー |
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渦電流センサー |
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電気マイクロメータ |
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レーザ測長器 |
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パワーメータ |
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ビームプロファイラー |
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レーザビュア |
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オシロスコープ |
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放射温度計 |
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ガラス用放射温度計 |
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フォトセンサー |
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FFTアナライザー |
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マッフル炉（ISUZU） |
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恒温器（アズワン）ETTAS |
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小型マッフル炉 |
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真空デシケータ |
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デシケータ |
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オゾン発生装置 |
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紫外線ランプ |
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スパッタ装置 日立E-1010 |
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スパッタ装置 サンユー電子 SC-701 |
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卓上ポットミル架台PM-001 |
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チュービングポンプTP-20SA |
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| 施設 |
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恒温室（超精密機械加工室） |
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ケミカルチャンバー |
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循環式冷水装置 |
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空気圧縮装置（スクリュー） |
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精密温調装置＆ドライヤー |
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| その他（実習工場に設置） |
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精密マシニングセンターV22 |
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精密射出成形装置 |
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ワイヤ放電加工装置 |
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SPE-iPT2016
SPE-iPT
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